แบรนด์: AMATคำอธิบาย: โมดูลอินเทอร์เฟซ Chamberเงื่อนไข: แบรนด์ใหม่ใบรับรอง: รายงานการรับประกันรายงานการทดสอบ COO COOรับประกัน: 1 ปีจำนวนสินค้าคงคลัง: 3ระยะเวลาการชำระเงิน: t/tท่าเรือขนส่ง: เซินเจิ้นAMAT 0100-35054 เป็นโมดูลอินเตอร์เฟสห้องที่ตรวจสอบสถานะการทำงานของอุปกรณ์ในเวลาจริงเพื่อให้แน่ใจว่าห้องกระบวนการพลาสมาจะกระตุ้นกลไกความปลอดภัยประสานโดยอัตโนมัติภายใต้สภาวะที่ผิดปกติ
| ผลิต |
มาก |
| หมายเลขรุ่น |
0100-35054 |
| ประเทศต้นกำเนิด |
สหรัฐอเมริกา |
| รหัส HS |
85389000 |
| มิติ |
25*10*2 ซม. |
| มิติการบรรจุ |
27*12*4 ซม. |
| น้ำหนัก |
0.8kg |
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
ประเภทอินเตอร์เฟส: VME BUS ที่เข้ากันได้รองรับการส่งข้อมูลแบบขนาน 16 บิต
แรงดันไฟฟ้าในการทำงาน: 24V DC ± 5%, โหลดปัจจุบันสูงสุด 2A
อุณหภูมิการทำงาน: -10 ° C ถึง 70 ° C
ระดับการป้องกัน: IP20
เวลาตอบสนองสัญญาณ: ≤5msทำให้มั่นใจได้ว่าการกระตุ้นการเชื่อมต่ออย่างรวดเร็ว
คุณสมบัติการใช้งาน
1. การป้องกันความปลอดภัยขั้นสูง:
AMAT 0100-35054 รวมช่องสัญญาณอินพุตเซ็นเซอร์หลายช่องซึ่งสามารถตรวจสอบความดันในห้องแบบซิงโครนัส, การไหลของก๊าซและพารามิเตอร์อุณหภูมิ เมื่อตรวจพบค่า จำกัด มากเกินไปแล้วแหล่งจ่ายไฟจะถูกตัดออกทันทีและแหล่งที่มาของอันตรายจะถูกแยกออกเพื่อความปลอดภัยของอุปกรณ์และผู้ประกอบการ
2. การเพิ่มประสิทธิภาพความเข้ากันได้ของระบบ:
0100-35054 เข้ากันได้กับระบบควบคุมของ AMAT Endura, Centura และชุดการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) และอุปกรณ์การสะสมไอสารเคมี (CVD)
3. ความเสถียรสูงและต่อต้านการแทรกแซง:
AMAT 0100-35054 ใช้การออกแบบวงจรซ้ำซ้อนและการเคลือบป้องกันคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้าซึ่งสามารถรักษาสัญญาณเตือนที่ผิดพลาดเป็นศูนย์ของการส่งสัญญาณในสภาพแวดล้อม RF แรงดันสูง (เช่นการแกะสลัก ICP) และอัตราความล้มเหลวน้อยกว่า 0.01%
4. ฟังก์ชั่นการรักษาและวินิจฉัย:
ตัวบ่งชี้สถานะ LED ออนบอร์ดและการรองรับอินเตอร์เฟสการวินิจฉัยการอ่านรหัสความผิดพลาดระยะไกล บุคลากรด้านการบำรุงรักษาสามารถค้นหาชิ้นส่วนที่มีปัญหาได้อย่างรวดเร็วผ่านซอฟต์แวร์เฉพาะของ AMAT (เช่น Applied Producer®) เพื่อลดเวลาหยุดทำงาน
สถานการณ์แอปพลิเคชัน
กระบวนการแกะสลักพลาสมา:
ในอัตราส่วนที่สูงการแกะสลักของหน่วยความจำ 3D NAND การตรวจสอบความดันในห้องแบบเรียลไทม์จะดำเนินการเพื่อป้องกันการคายประจุอาร์คที่เกิดจากการสะสมผลพลอยได้
การสะสมฟิล์มโลหะ:
สำหรับกระบวนการเชื่อมต่อโครงข่ายทองแดง (เช่น Endura Alps PVD) ตรวจพบการรั่วไหลของก๊าซในระหว่างการสปัตเตอร์เพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของฟิล์ม
กระบวนการทำความสะอาดห้อง:
ในระหว่างรอบการบำรุงรักษาของอุปกรณ์ CVD การเริ่มต้นและการหยุดการทำความสะอาดพลาสมาNF₃อัตโนมัติจะถูกกระตุ้นเพื่อให้แน่ใจว่าสารตกค้างจะถูกลบออกอย่างสมบูรณ์
